基于准LIGA技术的微齿轮制作
张立勇
王长路
路明
张元国
1.郑州机械研究所,河南,郑州,4500522.郑州机械研究所,河南,郑州,4500523.郑州机械研究所,河南,郑州,4500524.郑州机械研究所,河南,郑州,450052
摘要：利用准LIGA技术可制造出固定的或可转动的金属微结构,被看作是影响下世纪微机械加工的一项重要技术.介绍了基于准LIGA技术的微齿轮的制作工艺,制作出了m=0.1mm,z=20的微齿轮,齿轮结构清晰,表面和齿廓曲线平滑,侧壁陡直.
关键词：微齿轮准LIGA技术微电镀
论文发表日期：2010-01-01
在线出版日期：2026-09-12（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：3( 36-38 )
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