基于双向平面四杆机构的二维微动工作台的设计与有限元分析
包丽雅1
郝永平2
张嘉易2
胡延丽3
1.淮北职业技术学院,安徽,淮北,235000;沈阳理工大学,CAD/CAM技术研究与开发中心,辽宁,沈阳,1101682.沈阳理工大学,CAD/CAM技术研究与开发中心,辽宁,沈阳,1101683.北方重工沈矿集团设计研究院,辽宁,沈阳,110027
摘要:基于双向平面四杆机构设计出了二维微动工作台,该工作台采用了内外双层柔性铰链支撑结构,利用压电陶瓷驱动,具有结构简单、加工方便等优点.为了验证该工作台能达到预期效果,在Pro/E中建模再导入ANSYS中进行静态分析,分析结果与计算结果吻合较好.同时在ANSYS中对微动工作台施加X和Y向不同力时,得到X和Y向位移及工作台的最大应力,通过比较得到位移与力成正比,应力与位移成正比,与公式一致,最后建立了微动工作台的动态模型,解析计算与有限元模态分析求解固有频率基本一致,说明该微动工作台基本满足要求.
关键词:微动工作台柔性铰链压电陶瓷有限元分析
论文发表日期:2010-01-01
在线出版日期:2026-09-12(本平台首次上网日期,不代表文献的发表时间)
页数:5( 71-74,77 )
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