同步带传动晶圆传输机械手精度分析与补偿
刘延杰
栾玉亮
吴明月
1.哈尔滨工业大学,机器人技术与系统国家重点实验室,黑龙江,哈尔滨,1500802.哈尔滨工业大学,机器人技术与系统国家重点实验室,黑龙江,哈尔滨,1500803.哈尔滨工业大学,机器人技术与系统国家重点实验室,黑龙江,哈尔滨,150080
摘要：分析了同步带应用于晶圆传榆机器人机械手的误差产生原因,针对晶圆传输机器人高速高精度的定位要求,建立了含有同步带环节的误差模型.对各误差源进行了显著性分析,并在此基础上提出了结合几何误差迭代法和基于运动学逆解的非线性参数辨识的分步标定方法,对模型进行了误差标定及误差补偿.最后经过仿真分析和实验,有效的证明此方法显著地提高了机械手的末端定位精度.
关键词：同步带传动晶圆传输机器人显著性分析运动学标定误差补偿
资助基金：国家973项目超大规模集成电路制造装备基础问题研究(2009CB724206)
论文发表日期：2010-01-01
在线出版日期：2026-09-12（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：5( 33-37 )
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